儘管全球半導體景氣仍有多空因素干擾，但晶圓代工龍頭台積電依然在高階先進製程上持續領先，尤其，五奈米製程已於日前宣布進入試產階段，相關機台設備也陸續就定位，顯然要為蘋果、華為、Nvidia、AMD等大客戶量身打造所需之晶片。然而，五奈米所需要的相關製程設備如極紫外光（ＥＵＶ）微影與蝕刻等，均高度仰賴應用材料、ASML等國際大廠。
國內相關供應鏈則是以半導體設備與耗材相關如弘塑、京鼎、辛耘、家登、日揚與翔名；無塵室與機電系統整合廠商，如漢唐、帆宣、聖暉、亞翔、朋億、漢科與興櫃的洋基工程等也將受惠於台積電在五奈米試產與相關資本支出之商機。
漢唐為台積電擴廠重要夥伴
負責承攬台積電南科十二吋的十八廠第一期廠房的漢唐，主要針對高科技事業建廠所需之建築工程系統、無塵室系統、機械系統、電氣系統、配管系統、製程支援系統、儀錶及控制系統、通訊系統、生命安全系統、門禁及安全管理系統、空間規劃管理、大宗及特殊氣體系統、超純水（ＵＰＷ）及再生系統、超純水回收系統、廢水處理與製程化學品輸送，及二次配管路工程等系統，均囊括在漢唐集成的服務範圍內。
漢唐去年受惠於兩岸半導體與面板廠擴建新廠，帶動營收與獲利均改寫歷史新高，ＥＰＳ達九．四二元。董事會更決議配發每股十元現金股息，配發率超過一○○％。展望今年，除了台積電之外，美光、華邦電（2344）均有擴建新廠計畫，此外，日前台積電三奈米新廠相關環差案通過環評大會審查，將於明年動土興建，投資金額將逾六千億台幣，屆時漢唐也將扮演重要的合作夥伴。目前漢唐在手訂單達二○○億元，今年前二月營收達四七．○三億元，年增一一三％，法人預估今年營收與獲利可望更上一層樓。
日揚受惠應材大單
微影製程（晶圓圖案成形的過程）是半導體製程中不可或缺的步驟。雖然傳統微影通常並不需要真空環境，但極紫外光（ＥＵＶ）微影與電子束微影就需要搭配真空泵浦。其中，日揚主要代理英國Edwards的真空設備，以及ODM/OEM真空腔體、閥門、零組件的製造，在台灣更提供各國際品牌，真空泵浦、真空閥的維修服務。真空腔體常用的材料有不鏽鋼、鋁合金、碳鋼等，形狀有矩形、圓筒型和多邊形，表面處理有噴砂、拋光、電解拋光等，日揚可以依照客戶的需求進行熱處理應力消除或是振動應力消除；並將真空腔體設計製造及大型加工製造工件的服務延伸至真空模組或真空系統整合或半導體產業、光電面板產業、太陽能產業所需真空製程設備，為客戶提供更完整的真空製程解決方案。
受惠應材提高台灣供應比重政策，以及台積電擴大資本支出，帶動去年日揚營收與獲利雙雙改寫歷史新高，ＥＰＳ達二．一一元。公司擬配發現金股息一．七元，以四月十日收盤價二七．五元計算，殖利率達六．二％。展望今年，在兩岸半導體廠持續擴充資本支出與產品組合優化，日揚三月與首季營收更創下單月與單季歷史新高，達五．八八億元，法人預估今年營收與獲利可望持續衝高，ＥＰＳ挑戰二．五元；日揚是一檔具備低本益比、高殖利率雙優勢的半導體設備股。
樺漢加持 帆宣營運看俏
晶圓代工龍頭台積電之所以在先進製程技術遙遙領先對手，且獲利能力有卓越的表現，背後關鍵因素之一即是製程自動化與智慧化。早在二○○○年台積電就打造全自動化的十二吋廠生產環境，包括機台自動化、派工自動化與搬運自動化，藉此提升產能效益、準時交貨與生產良率，得以讓產線作業員工作時數降低。因此，國內從事晶圓搬運與倉儲自動化相關的廠商如盟立、迅得可望受惠。
為了維持穩定生產與高良率，機台的定期保養也是相當重要。不過，仍可能發生非預期性故障停機，或是當品質檢測發現問題時才知道機台發生異常，往往造成大量廢片損失、生產延遲與良率大幅下降。半導體設備業者帆宣已成功開發出半導體機台故障預診斷軟體，並整合十幾種人工智慧演算法，及早預測機台需要維修的時間點，預測準確率達九五％，大幅減少產線因機台突然故障而必須停頓的風險。
帆宣原為半導體、光電產業設備材料商，後跨入無塵室及機電統包工程，目前業務分為廠務工程設計事業群、自動化供應系統事業、代理銷售事業群，以及研發製造事業群等四大領域。去年鴻海旗下工業電腦大廠樺漢更入股帆宣，成為最大法人股東。帆宣雖然去年第四季獲利表現不理想，但全年營收與獲利同步締造新猷，ＥＰＳ達四．四元。展望今年，受惠於兩岸半導體與面板廠持續擴廠，以及鴻海在美國建廠訂單，對於帆宣營運具有正面助益。近期股價自前波高點五八．四元回檔整理後，再度出現轉強跡象，有望挑戰年線反壓。
(中時電子報)
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